subproceso

Quisiera saber cuál es la forma correcta: ¿Sub-proceso o Subproceso?

Es una palabra formada a partir del sustantivo proceso al que se le ha añadido el prefijo sub-, por tanto se escribe en una sola palabra, sin guion ni espacio intermedio: subproceso (la mayúscula solo sería necesaria si aparece al inicio de una oración o si forma parte de una denominación).